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產(chǎn)品描述：

出為單極脈沖，具有脈沖幅值穩(wěn)壓功能。使用本電源能明顯減少工件打火，通過調(diào)節(jié)脈沖頻率及占空比可改善和控制成膜速度和溫度，增加膜基結(jié)合力，提高沉積速率。

　　主要參數(shù)

　　工作電壓可分A、B兩檔，每一檔內(nèi)的電壓連續(xù)可調(diào)，脈沖上升、下降快，脈沖幅值穩(wěn)定;

　　性能特點(diǎn)：

　　★ 輸入電壓及頻率范圍寬，輸入抗強(qiáng)干擾設(shè)計(jì)，輸出純正弦波，失真度低，穩(wěn)定性優(yōu)。

　　★ 高精度LED數(shù)碼管顯示電壓、電流、頻率及功率，多圈電位器精準(zhǔn)調(diào)節(jié)，操作方便。

　　★ 動(dòng)態(tài)反應(yīng)速度快，小于2ms,具有完善的保護(hù)功能，確保負(fù)載及電源的安全

　　★ 采用先進(jìn)的IGBT/SPWM技術(shù)，體積小、噪音低、高可靠性

　　★ 大裕量輸入抗擾范圍設(shè)計(jì)，輸入可配發(fā)電機(jī)

　　★ 輸入輸出雙重隔離、安全可靠

　　★ 純正弦波輸出，低失真度

　　a. 電源基本參數(shù)

　　輸入電壓： 380VAC±5%，50Hz，三相交流。

　　輸入開關(guān)： 三位自動(dòng)空氣開關(guān)。

　　b. 電源性能參數(shù)

　　輸出功率： 最大功率為5000W。

　　輸出頻率： 20kHZ～40KHz

　　輸出占空比：20%～80%

　　電 壓： 空載電壓≥1500V

　　工作電流： 0～3A連續(xù)可調(diào)

　　c. 電源環(huán)境參數(shù)

　　工作溫度： O℃—40℃(24小時(shí)的平均最高溫度：35℃)。

　　海拔高度：≤2000米。

　　存放： 最低-5℃、最高45℃。最低800毫巴(約海拔2000米)。

　　運(yùn)輸： 最低-5℃、最高45℃。最低660毫巴(約海拔3265米)。

　　污染： 冷卻空氣不得含有腐蝕性蒸汽、顆粒、導(dǎo)電顆粒以及吸潮后會(huì)變成導(dǎo)電的顆粒。

　　濕度： 低于80%的相對(duì)濕度;無冷凝水或結(jié)冰。