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產(chǎn)品描述：

考夫曼離子源性能參數(shù):

　　離子源口徑φ17cm

　　可調(diào)仰角±20°(底座自帶刻度指針)

　　離子束能量100~1000eV連續(xù)可調(diào)

　　最大離子束流500mA

　　束能量均勻區(qū)：≥于φ900mm(距源出口900mm處)

　　束能量不均勻性：≤±10%(距源出口900mm處)

　　工作氣體氨氣(Ar)、氧氣(O2)

　　工作氣壓參考范圍0.5~2.0*10-2Pa(推薦0.8~1.5*10-2Pa)

　　安裝方式：內(nèi)裝

　　尺寸：251m*309.5mm

　　考夫曼離子源的特點(diǎn)

　　1.優(yōu)化參數(shù)后，可獲得能量單一的離子束

　　2.離子束流及離子能量連續(xù)精確可調(diào)

　　3.離子能量可調(diào)節(jié)范圍廣、應(yīng)用范圍廣

　　4.相比等離子體源及無(wú)柵離子源，可獲得更高的離子能量

　　5.通過(guò)不同柵網(wǎng)的選擇，可獲得準(zhǔn)直或大面積發(fā)散離子束

　　下面為霍爾離子源與考夫曼離子源的能量對(duì)照表(僅供參考)