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產(chǎn)品描述：

用于光學(xué)薄膜及電極膜等各種薄膜形成的電子束蒸鍍用電子槍/電源。

　　電子束蒸鍍法的特征

　　用電子束直接照射鍍膜材料進行加熱，因此熱效率高，能蒸發(fā)高熔點金屬、氧化物、化合物、升華性物質(zhì)等各種材料。

　　鍍膜材料在水冷銅坩堝內(nèi)(*)被直接加熱，因此不會象電阻加熱式或感應(yīng)加熱式那樣與坩堝發(fā)生反應(yīng)。

　　*可能需要使用坩堝內(nèi)襯。

　　能迅速控制輸出，因而能精確地控制膜厚。

　　與濺射法及 CVD 法相比，能快速鍍膜是一大特征。

　　對形成1μm 以上的厚膜也很有效。

　　電子槍/電源的特征

　　[ 氧化物 ]

　　電子束垂直照射鍍膜材料，束斑近似圓形，具有能量密度高的特征。此外，由于標(biāo)準(zhǔn)配備了快速掃描功能，非常適合蒸鍍?nèi)邳c高、熱傳導(dǎo)性低的氧化物及升華性材料，能獲得良好的熔痕，大面積的鍍膜區(qū)域上膜厚分布均勻，重現(xiàn)性好。

　　[ 金屬 ]

　　坩堝的選擇范圍很大，能進行多種、大量、高速率的蒸鍍，還有用來抑制成膜時溫度上升的剝離工藝用電子槍。

　　[ 合金復(fù)合膜 ]

　　往臨近的兩個或三個坩堝內(nèi)充填不同的材料，使用專用的掃描控制器進行雙源或三源蒸發(fā)，可以形成合金膜和復(fù)合膜。

　　本電子槍用特種剛才加工而成，有很好的放電性能和抗下垂性能，能保證長期高溫環(huán)境工作過程中不變形，放電效果或輝光效果良好!

　　無論那種類型的電子槍，它們均由電子的發(fā)射極——陰極、電子注形狀的限制極——聚焦極和電子的加速引出極——陽極三部分組成。不同環(huán)境下使用的電子槍其結(jié)構(gòu)會是多種多樣的，但是其基本組成部分是不變的。在工作中通常聚焦極的電位等于或接近于陰極電位，用以限制電子注的形狀，而在陰極和陽極之間加上加速電壓(陽極電壓)。當(dāng)電子從陰極發(fā)射出來，將與由上述電極和電子注本身的空間電荷建立的靜電場發(fā)生作用，形成具有一定形狀的電子注，并從陽極孔射出以供使用。為了使電子的軌跡沿陰極曲率半徑方向，需將球面電極的邊緣加以修正，因此在陰極外圍加有聚焦極。