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產(chǎn)品描述：

功能：

· INFICON ModeLock 技術確保獲得更高，更穩(wěn)定的速率和厚度測量分辨率，即使在速率極低的情況下

· Auto Z 技術通過自動測定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測量的精度

· 支持最多六個來源同時共沉積

· 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況

· 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz

· USB 數(shù)據(jù)存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數(shù)據(jù)記錄

· 強大的 I/O 憑借其靈活性可融入簡單或復雜的系統(tǒng)(使用可擴展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器，14 TTL 輸出)，并充分利用邏輯功能(100 個邏輯語句)

· 6 個標準 DAC 輸出和另外 6 個可選輸出用于來源控制、速率或厚度監(jiān)控

· 可容納最多 50 個過程，每個過程 200 層，這些過程關聯(lián)到一起，總共可容納 10,000 層。

· 多路傳感器可平均分配為 8 個傳感器

· 4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長的真空傳感器電纜

· 可選以太網(wǎng)通信

· 符合 RoHS 標準

典型應用

· 高端光學鍍膜

規(guī)格：