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產(chǎn)品描述：

產(chǎn)品介紹：

■ 采用JYK自動光學控制(使用高穩(wěn)定性光源、光纖接收系統(tǒng)及高性能鎖相放大單元等實現(xiàn)反射或透射光強檢測)

■ 采用Inficon或Maxtek石英晶體膜厚監(jiān)測系統(tǒng)(實現(xiàn)鍍膜過程蒸發(fā)速率的恒定及膜層厚度的自動監(jiān)控)

■ 采用新一代大容量 E型電子槍，適合穩(wěn)定鍍制從數(shù)層到多達數(shù)十層的膜層(帶嵌入式電子束掃描單元、坩堝精確定位單元及可移動槍體機械單位等模塊)

■ 采用先進的大功率霍爾離子源(采用自動切換功能的雙燈絲陰極或陰極電子發(fā)射)/RF射頻源

■ 采用多功能工件傳動方式(搭載拱形或行星式旋轉架)

■ 采用高速真空機組+深冷低溫捕集系統(tǒng)(保證高效率及高穩(wěn)定性的真空特性)

精密光學鍍膜設備

ZZS系列精密光學鍍膜設備專門為精密光學薄膜器件鍍膜生產(chǎn)而設計，各系統(tǒng)和總體結構滿足了光學薄膜工藝的要求，適用于增透膜、帶通膜和截止膜等各種膜系的鍍膜，對于100層膜的超大型膜系也能做到很好的滿足。

配置大坩堝電子槍，多種波形掃描系統(tǒng)，整個蒸發(fā)過程中膜料表面平坦，蒸發(fā)分布穩(wěn)定。

加配石英晶體膜厚控制儀可實現(xiàn)成膜速率和鍍膜過程的自動控制。

配置大功率離子源，提高膜層質量好。

總體結構設計合理，更符合工藝要求;局部細節(jié)設計富于人性化，方便操作者。

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