產(chǎn)品描述:
出為單極脈沖,具有脈沖幅值穩(wěn)壓功能。使用本電源能明顯減少工件打火,通過調(diào)節(jié)脈沖頻率及占空比可改善和控制成膜速度和溫度,增加膜基結(jié)合力,提高沉積速率。
主要參數(shù)
工作電壓可分A、B兩檔,每一檔內(nèi)的電壓連續(xù)可調(diào),脈沖上升、下降快,脈沖幅值穩(wěn)定;
性能特點(diǎn):
★ 輸入電壓及頻率范圍寬,輸入抗強(qiáng)干擾設(shè)計(jì),輸出純正弦波,失真度低,穩(wěn)定性優(yōu)。
★ 高精度LED數(shù)碼管顯示電壓、電流、頻率及功率,多圈電位器精準(zhǔn)調(diào)節(jié),操作方便。
★ 動(dòng)態(tài)反應(yīng)速度快,小于2ms,具有完善的保護(hù)功能,確保負(fù)載及電源的安全
★ 采用先進(jìn)的IGBT/SPWM技術(shù),體積小、噪音低、高可靠性
★ 大裕量輸入抗擾范圍設(shè)計(jì),輸入可配發(fā)電機(jī)
★ 輸入輸出雙重隔離、安全可靠
★ 純正弦波輸出,低失真度
a. 電源基本參數(shù)
輸入電壓: 380VAC±5%,50Hz,三相交流。
輸入開關(guān): 三位自動(dòng)空氣開關(guān)。
b. 電源性能參數(shù)
輸出功率: 最大功率為5000W。
輸出頻率: 20kHZ~40KHz
輸出占空比:20%~80%
電 壓: 空載電壓≥1500V
工作電流: 0~3A連續(xù)可調(diào)
c. 電源環(huán)境參數(shù)
工作溫度: O℃—40℃(24小時(shí)的平均最高溫度:35℃)。
海拔高度:≤2000米。
存放: 最低-5℃、最高45℃。最低800毫巴(約海拔2000米)。
運(yùn)輸: 最低-5℃、最高45℃。最低660毫巴(約海拔3265米)。
污染: 冷卻空氣不得含有腐蝕性蒸汽、顆粒、導(dǎo)電顆粒以及吸潮后會(huì)變成導(dǎo)電的顆粒。
濕度: 低于80%的相對(duì)濕度;無冷凝水或結(jié)冰。
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