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JYK霍爾離子源三代JYK-LZ530N

來(lái)源:本站 發(fā)表時(shí)間:2022/10/20 16:56:51 瀏覽次數(shù):

產(chǎn)品描述:

本霍爾離子源用于真空鍍膜過(guò)程中基底離子轟擊清潔及沉積過(guò)程中離子轟擊能量輸送。

  廣泛應(yīng)用于:增透膜、眼鏡鍍膜、光纖光學(xué)、高反鏡、熱/冷反光鏡、低漂移濾波器、帶通濾波器、在線清洗、類金剛石沉積等。

  能夠改善薄膜的生長(zhǎng)、優(yōu)化薄膜結(jié)構(gòu),增加鍍膜的一致性和重復(fù)性,低溫高速率鍍膜,清除工件表面水和碳?xì)浠衔?,增加薄膜密度,降低?nèi)應(yīng)力低,清除結(jié)合力弱的分子,反應(yīng)氣體活度增加,薄膜成分易于控制。

  主要特點(diǎn):

  1.離子源燈絲采用交流供電,電流均衡,功率密度大。

  2.設(shè)有軟啟動(dòng)功能,防止沖擊源頭,延長(zhǎng)產(chǎn)品使用壽命。

  3.設(shè)有短路和過(guò)流保護(hù),工作安全可靠。不怕人為誤操作或源頭原因造成的長(zhǎng)時(shí)間短路問(wèn)題。

  4.可以增加特色功能,如外控,閥控,定時(shí)等。

  5.電源功率充足,燈絲電壓/電流可達(dá)40V/50A,陽(yáng)極電壓/電流可達(dá)220V,25A。長(zhǎng)期工作。

  霍爾等離子體離子源,能適合輔助鍍膜工藝要求,其突出的特點(diǎn)是小型化,結(jié)構(gòu)緊湊、易于拆裝。在制造高質(zhì)量的光學(xué)薄膜時(shí),它對(duì)改進(jìn)膜的附著力、致密度、吸收度、折射率有所貢獻(xiàn)。

  JYK-HZ2型霍爾離子源陽(yáng)極直徑φ6.2cm,采用永久磁鐵并利用極靴,沿軸向產(chǎn)生較大梯度的磁場(chǎng),在環(huán)狀的霍爾電流作用下,離子沿軸向加速拔出形成離子束。離子束具有較大的能散度及較大的發(fā)散角,水冷陽(yáng)極可有效降低離子源及工件表面的溫度。

  該離子源電源結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,可以實(shí)現(xiàn)輔助鍍膜所需要的大均勻區(qū)的離子束流。單臺(tái)源就可以滿足600mm-1600mm鍍膜機(jī)的離子束輔助鍍膜需要。

  結(jié)構(gòu)先進(jìn):

  充分借鑒國(guó)內(nèi)外先進(jìn)的霍爾離子源的優(yōu)點(diǎn),具有獨(dú)特的水冷和密封結(jié)構(gòu),經(jīng)多次長(zhǎng)時(shí)間的實(shí)驗(yàn)證明,離子源能夠在很大的等離子體束流下長(zhǎng)期穩(wěn)定工作。

  可在高溫環(huán)境下長(zhǎng)期可靠工作:

  在通常鍍膜工藝中,工件需加熱至很高溫度,整個(gè)真空室內(nèi)溫度很高,而本離子源良好的冷卻系統(tǒng)能保證離子源在 300℃的高溫環(huán)境下長(zhǎng)期正常工作。

  等離子體束流大:

  為避免基片損傷,需要采用低能量大束流的等離子體進(jìn)行輔助鍍膜。以往國(guó)內(nèi)采用的多因束流小(<1.5A)而很難達(dá)到理想的效果。本公司在大功率霍耳等離子體源的設(shè)計(jì)與制造技術(shù)上取得突破性的進(jìn)展,制造出大束流下(>4A)長(zhǎng)期穩(wěn)定工作的等離子體源。

  空間均勻性強(qiáng):

  由于獨(dú)特的磁路和放電區(qū)結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì),在以離子源軸線為中心 30度的圓錐內(nèi)等離子態(tài)的強(qiáng)度均勻性可保持在 ± 20%以內(nèi)。

  完全適用于反應(yīng)氣體:

  在離子束輔助反應(yīng)沉積鍍膜過(guò)程中,通常需要用氧氣或氮?dú)獾扰c蒸發(fā)的膜料進(jìn)行反應(yīng)沉積所需薄膜,在此過(guò)程中增加反應(yīng)氣體的活性和能量,對(duì)形成高質(zhì)量薄膜至關(guān)重要。 本等離子體源可以在完全通入反應(yīng)氣體將其離化的條件下不出現(xiàn)中毒現(xiàn)象而正常工作。

  安裝簡(jiǎn)便、維護(hù)簡(jiǎn)單運(yùn)行成本低:

  本離子源的安裝非常簡(jiǎn)單,耗材只是燈絲,日常維護(hù)工作主要是更換燈絲。

  操作簡(jiǎn)單:

  離子源的操作簡(jiǎn)單,通過(guò)調(diào)節(jié)離子源的放電電流以及燈絲電流即可使離子源穩(wěn)定工作??刂泼姘迳夏苤苯佑^察到燈絲和陽(yáng)極的電壓、電流

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