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考夫曼離子源JYKKFM-5KWZD

來源:本站 發(fā)表時間:2022/10/20 16:53:20 瀏覽次數(shù):

產(chǎn)品描述:

考夫曼離子源性能參數(shù)

  離子源口徑φ17cm

  可調(diào)仰角±20°(底座自帶刻度指針)

  離子束能量100~1000eV連續(xù)可調(diào)

  最大離子束流500mA

  束能量均勻區(qū):≥于φ900mm(距源出口900mm處)

  束能量不均勻性:≤±10%(距源出口900mm處)

  工作氣體氨氣(Ar)、氧氣(O2)

  工作氣壓參考范圍0.5~2.0*10-2Pa(推薦0.8~1.5*10-2Pa)

  安裝方式:內(nèi)裝

  尺寸:251m*309.5mm

  考夫曼離子源的特點

  1.優(yōu)化參數(shù)后,可獲得能量單一的離子束

  2.離子束流及離子能量連續(xù)精確可調(diào)

  3.離子能量可調(diào)節(jié)范圍廣、應用范圍廣

  4.相比等離子體源及無柵離子源,可獲得更高的離子能量

  5.通過不同柵網(wǎng)的選擇,可獲得準直或大面積發(fā)散離子束

  下面為霍爾離子源與考夫曼離子源的能量對照表(僅供參考)


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