產(chǎn)品描述:
考夫曼離子源性能參數(shù):
離子源口徑φ17cm
可調(diào)仰角±20°(底座自帶刻度指針)
離子束能量100~1000eV連續(xù)可調(diào)
最大離子束流500mA
束能量均勻區(qū):≥于φ900mm(距源出口900mm處)
束能量不均勻性:≤±10%(距源出口900mm處)
工作氣體氨氣(Ar)、氧氣(O2)
工作氣壓參考范圍0.5~2.0*10-2Pa(推薦0.8~1.5*10-2Pa)
安裝方式:內(nèi)裝
尺寸:251m*309.5mm
考夫曼離子源的特點(diǎn)
1.優(yōu)化參數(shù)后,可獲得能量單一的離子束
2.離子束流及離子能量連續(xù)精確可調(diào)
3.離子能量可調(diào)節(jié)范圍廣、應(yīng)用范圍廣
4.相比等離子體源及無柵離子源,可獲得更高的離子能量
5.通過不同柵網(wǎng)的選擇,可獲得準(zhǔn)直或大面積發(fā)散離子束
下面為霍爾離子源與考夫曼離子源的能量對(duì)照表(僅供參考)
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