產(chǎn)品描述:
用于光學薄膜及電極膜等各種薄膜形成的電子束蒸鍍用電子槍/電源。
電子束蒸鍍法的特征
用電子束直接照射鍍膜材料進行加熱,因此熱效率高,能蒸發(fā)高熔點金屬、氧化物、化合物、升華性物質等各種材料。
鍍膜材料在水冷銅坩堝內(nèi)(*)被直接加熱,因此不會象電阻加熱式或感應加熱式那樣與坩堝發(fā)生反應。
*可能需要使用坩堝內(nèi)襯。
能迅速控制輸出,因而能精確地控制膜厚。
與濺射法及 CVD 法相比,能快速鍍膜是一大特征。
對形成1μm 以上的厚膜也很有效。
電子槍/電源的特征
[ 氧化物 ]
電子束垂直照射鍍膜材料,束斑近似圓形,具有能量密度高的特征。此外,由于標準配備了快速掃描功能,非常適合蒸鍍?nèi)邳c高、熱傳導性低的氧化物及升華性材料,能獲得良好的熔痕,大面積的鍍膜區(qū)域上膜厚分布均勻,重現(xiàn)性好。
[ 金屬 ]
坩堝的選擇范圍很大,能進行多種、大量、高速率的蒸鍍,還有用來抑制成膜時溫度上升的剝離工藝用電子槍。
[ 合金復合膜 ]
往臨近的兩個或三個坩堝內(nèi)充填不同的材料,使用專用的掃描控制器進行雙源或三源蒸發(fā),可以形成合金膜和復合膜。
本電子槍用特種剛才加工而成,有很好的放電性能和抗下垂性能,能保證長期高溫環(huán)境工作過程中不變形,放電效果或輝光效果良好!
無論那種類型的電子槍,它們均由電子的發(fā)射極——陰極、電子注形狀的限制極——聚焦極和電子的加速引出極——陽極三部分組成。不同環(huán)境下使用的電子槍其結構會是多種多樣的,但是其基本組成部分是不變的。在工作中通常聚焦極的電位等于或接近于陰極電位,用以限制電子注的形狀,而在陰極和陽極之間加上加速電壓(陽極電壓)。當電子從陰極發(fā)射出來,將與由上述電極和電子注本身的空間電荷建立的靜電場發(fā)生作用,形成具有一定形狀的電子注,并從陽極孔射出以供使用。為了使電子的軌跡沿陰極曲率半徑方向,需將球面電極的邊緣加以修正,因此在陰極外圍加有聚焦極。
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