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產(chǎn)品描述：

功能：

· INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得更高，更穩(wěn)定的速率和厚度測(cè)量分辨率，即使在速率極低的情況下

· Auto Z 技術(shù)通過(guò)自動(dòng)測(cè)定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測(cè)量的精度

· 支持最多六個(gè)來(lái)源同時(shí)共沉積

· 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶(hù)很容易看到過(guò)程的進(jìn)展?fàn)顩r

· 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz

· USB 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能可存儲(chǔ)屏幕截圖、配方存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)記錄

· 強(qiáng)大的 I/O 憑借其靈活性可融入簡(jiǎn)單或復(fù)雜的系統(tǒng)(使用可擴(kuò)展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器，14 TTL 輸出)，并充分利用邏輯功能(100 個(gè)邏輯語(yǔ)句)

· 6 個(gè)標(biāo)準(zhǔn) DAC 輸出和另外 6 個(gè)可選輸出用于來(lái)源控制、速率或厚度監(jiān)控

· 可容納最多 50 個(gè)過(guò)程，每個(gè)過(guò)程 200 層，這些過(guò)程關(guān)聯(lián)到一起，總共可容納 10,000 層。

· 多路傳感器可平均分配為 8 個(gè)傳感器

· 4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長(zhǎng)的真空傳感器電纜

· 可選以太網(wǎng)通信

· 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

典型應(yīng)用

· 高端光學(xué)鍍膜

規(guī)格：

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